CKD真空閥資料說(shuō)明，喜開(kāi)理一目了然真空閥
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;余玲
上海市嘉定區(qū)江橋鎮(zhèn)嘉涌路99弄6號(hào)713室
真空排氣系統(tǒng)的基本構(gòu)成和CKD設(shè)備
可信賴的可靠性
概要
應(yīng)用實(shí)例
采用CKD自行開(kāi)發(fā)的成型波紋管，結(jié)構(gòu)特殊，
驅(qū)動(dòng)壽命達(dá)到前所未有的高度。
半導(dǎo)體 FPD 太陽(yáng)能電池
其他真空控制電路
采用簡(jiǎn)單的流路結(jié)構(gòu)，
避免了積塵、
附著生成物等問(wèn)題
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的2級(jí)式的試驗(yàn)結(jié)果亦
相同！
AVB※47系列
［防彎措施］
在考慮導(dǎo)軌位置的前
提下，通過(guò)采取波紋
管防彎措施，以減少
應(yīng)力集中。
·對(duì)驅(qū)動(dòng)元件前端
| CMK2-G-FA-32-75 |
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| SCA2-G-TC-50B-600-T0H3-D |
| SAB1C-50A-0 |
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| SCW-00-50B-400-T0H-D |
|
| PVS-65A-210-4N-AC200V |
| LCR-20-40-S3D? |
|
| LCG-12-30-A5D |
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| AB41-02-2-02E-DC24V |
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| RV3S20-180-45-SR-LS |
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| G45D-8-P10 |
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| AB41E4-02-3-03TA-AC100V |
| LCR-16-30-T2H-D-S6 |
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| AB41-03-6-AC220V |
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| AX4075TS-DM04-U0 |
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| SC3W-10-10?含 |
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| RV3S3-90-90 |
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| FSM2-NVF100-H063B |
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| NRB500B-LLC6-L |
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| SCS2-N-TC-200B-250-Y-XR1242AQ101 |
| AP11E2-25A-C4T-AC220V |
|
| 4F340-10-M3L-AC110V |
|
| 4KA111-M5 |
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| 4F620E-20-TP-DC24V |
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| 4TB319-00-M1L-3 |
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| FA531-20A |
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| 4GE329-00-E2C-3 |
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| SRL3-00-20B-300-M0H-D |
| VRA2000-8-GB |
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| VSNP-444-3 |
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| SRL3-00-25B-300 |
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| SCG-CB-50B-400-T0H-D-B3/Z |
| CMK2-G-FA-32-75 |
|
| PKA-10-27-DC24V |
|
| CMK2-LB-20-500-T2H3D/Z |
| 4GD219-06-E2C-3 |
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| ?4GD2-2F |
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| AX9000TS-U0 |
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| 4GD239-06-E2C-3 |
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| 4GD219-06-E2C-3 |
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| F3000-10-W-MY-A15W |
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| 4F630-15-BL-AC220V |
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| 4F730-25-BL-AC220V |
|
| NVP11-32A-13R-2 |
|
| NVP11-40A-13R-2 |
|
| NVP11-50A-13R-2 |
|
| NVP1A-65A-0.3R-AC220 |
|
| AX9000TS-U0 |
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| SCG-Q-00-63B-800-H-T0H-T8 |
| SCW-00-63B-400-T0H-D |
|
| RV3D150-90-45 |
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| ADK11-20A-02H-DC24V |
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| 4KA231-06 |
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| 4KA121-M5 |
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| AG43-02-5-E2E-AC200V |
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| JSC3-LB-40B-550-S |
|
| 2302-2C-G |
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| PV5G-6-FG-S-1-N |
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| SCA2-CB-63B-300-T0H5-4-Y |
| SCA2-TC-63B-450-T0H5-D-Y |
| 1126-ELEMENT-X |
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| 1126-ELEMENT |
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［牙數(shù)·板厚·形狀］
通過(guò)應(yīng)力分析，選擇合適
的牙數(shù)、板厚、形狀。
各個(gè)口徑均采用特別設(shè)計(jì)。
空氣釋放閥
方式：橫向（水平）
處理用空氣
只需1臺(tái)即可實(shí)現(xiàn)從低真空至
高真空的寬域控制
壓力控制 真空壓力比例控制系統(tǒng) VEC series
CKD真空閥資料說(shuō)明，喜開(kāi)理一目了然真空閥
概要
應(yīng)用實(shí)例
寬域 快速切斷、排氣控制自如
本品是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，為控制真空室內(nèi)的真空壓力
而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。
各種CVD裝置 實(shí)驗(yàn)·研究用途（真空壓力控制）
Close時(shí) Open時(shí)
·可慢速排氣：有效避免揚(yáng)起閥室內(nèi)的顆粒
·不需另配切斷用真空閥，
滿足用戶不同需求。
⑤ 帶加熱器 ⑥ 變更O型圈
② 大口徑
④ 帶電磁閥
可根據(jù)要求，替換各種O型圈
※如需了解可換材料，請(qǐng)聯(lián)系敝司銷售人員
為防止附著生成物，還可另配加熱器
※適用口徑：NW25～63
除普通規(guī)格外，還提供
NW80～160的大口徑產(chǎn)品
還具有兩段式排氣、耐高溫
等特性
※NW80·100…產(chǎn)品目錄
“干式精密綜合”
NW160…按訂單生產(chǎn)產(chǎn)品
③ 電動(dòng)·多級(jí)控制
EVB系列
通過(guò)電動(dòng)控制，
可在30度范圍內(nèi)調(diào)節(jié)開(kāi)度
實(shí)現(xiàn)多級(jí)控制！
口徑范圍：
NW25·40·50
對(duì)操作用電磁閥采取直接連接、
省空間、滿足各種配管要求
① 手動(dòng)閥
MVB系列
具備AVB系列的全部性能，
次數(shù)［萬(wàn)次］ CKD保證值 CKD實(shí)測(cè)值
※根據(jù)公司規(guī)定的耐久試驗(yàn)，CKD的保證值為100萬(wàn)次。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)參閱規(guī)格書。
■ 耐久試驗(yàn)電路
橫向安裝
在空氣 真空之間反復(fù)進(jìn)行
克服了苛刻的試驗(yàn)條
·可在真空環(huán)境下使用
·擁有成熟的應(yīng)用案例
標(biāo)準(zhǔn)型氣動(dòng)閥
［供氣］
·擁有NW16型號(hào)等
齊備的產(chǎn)品系列
·另備有手動(dòng)型
·具有高壽命、高耐久性特
點(diǎn)、采用自制成型波紋管，
可靠性高！
·采用波紋管式結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)徹
底清潔
·可通過(guò)簡(jiǎn)單設(shè)置
實(shí)現(xiàn)延時(shí)控制
·對(duì)于泵體的防漏
CKD真空閥資料說(shuō)明，喜開(kāi)理一目了然真空閥
