日本CKD小型流量傳感器工作原理
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使設備小型化,輕量化。
高速響應
可在真空中使用
(正·負壓兩用型)通過新技術的整流機構，實現了原來沒有的緊湊型·高速響應。
適合電子部件的吸附確認及各種N2凈化氣體流量的管理。
優化傳感器性能，防故障于未然。
門類·用途例子請參照下一頁
小型·輕量 高速響應 分離型 整體型 開關輸出 模擬輸出 大流量類型
采用了新技術的整流機構，上流側和下流側
、開關輸出型。
可根據用途選擇。
小型·輕量
可在狹小的空間中或可動部位設置安裝姿勢自由
上下左右無論哪個方向都可安裝。
可進行流量管理用途廣泛??
流量范圍
日本CKD小型流量傳感器工作原理
0.5??1??5??10??20??50??100??/min
新增大流量類型FSM系列/FSM-V系列???-V-D
系列 規格 響應速度 顯示器 材質 輸出方
在確認電子部件等吸附中發揮威力。
應用硅微機械加工的白金傳感芯片
采用了新技術的整流機構，上流側和下流側
都不需要直管部分。
應用硅微機械加工的白金傳感芯片
通過新技術的整流機構，實現了原來沒有的緊湊型·高速響應。
適合電子部件的吸附確認及各種N2凈化氣體流量的管理。
熱式流量傳感器·生態流體
可進行流量管理
輸出方式備有模擬輸出型及目視、
可檢測開關異常的數碼顯示 不需要直管部分
熱式流量傳感器·生態流體部件的吸附等可用于真空中。
都不需要直管部分。
安裝姿勢自由
上下左右無論哪個方向都可安裝。
小型??高響應??
在確認電子部件等吸附中發揮威力。，式 雙方向檢測 流量范圍 頁
N 0.05??0.1??0.5??1??5??10??/min
輸出方式備有模擬輸出型及目視、
可檢測開關異常的數碼顯示、開關輸出型。
可根據用途選擇。白金傳感芯片,實現了高速響應。
適合確認實裝機的吸附確認等,及生產間隔時間短的裝置中。
FSM-V FSM
FSM-V FSM
采用應用硅微機械加工的與原來產品響應速度對比
彎頭OK 5msec以下50msec以下
與原來產品的體積比電子部件的吸附等可用于真空中。
不需要直管部分
日本CKD小型流量傳感器工作原理
