流量傳感器-選用美國霍尼韋爾
AWM3000 系列氣體質量流量傳感器， 放大， 流量/壓力范圍：+ 200 sccm; 直形端口式。
同 AWM2000 系列一樣，惠斯頓雙電橋控制氣體流量測量。AWM3000 系列經過放大；因此，該系列可用于增加增益和將電壓偏置引入傳感器輸出。加熱器控制電路和傳感橋供電電路位于封裝電路板上。
所有氣體質量流量傳感器均通過熱交換運行——流動和壓差。
硅芯片設計源自薄膜、隔熱橋結構，包含加熱和熱敏組件。
這可以對空氣或氣體流量和方向作出快速響應，提供相應的輸出電壓。
放大型能提供更強的輸出信號和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路。
霍尼韋爾提供：
微橋質量空氣流量傳感器運行關于傳熱理論。塊氣流被引導穿過表面傳感元件。
輸出電壓變化與質量空氣或其他物質成比例氣體流過入口和出口的包。
特別設計住房指導和控制穿過微結構的氣流感覺元素。
機械設計包裝允許它輕松安裝印刷電路板。
微橋質量氣流傳感器具有基于技術的硅芯片微結構技術。
它包括薄膜，隔熱橋結構包含加熱器和溫度傳感元件。
橋梁結構提供敏感和快速的響應對空氣或其他氣體的流動芯片。
雙傳感元件定位在中央供暖的兩側元素表示流向以及流量。
激光修整厚膜和薄薄膜電阻器提供一致的互換性從一個設備到下一個設備。
的芯片設計、制造工藝和微結構技術
加快響應時間并實現更低的功耗
多種端口類型，提供更高的應用靈活性
系列名稱 AWM3000
流量/壓力范圍 + 200 SLPM
整個溫度范圍內的零位 ±25.0 mV dc
可重復性 ±0.50% 讀數
響應時間 典型值 1 ms，大值 3 ms
接口類型 直形
功耗 典型值 50 mW，大值 60 mW
補償溫度范圍 -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
介質兼容性 僅干燥氣體
沖擊 100 g 峰值（5 次下降，6 軸
流量傳感器-選用美國霍尼韋爾
